【定員となりましたので、申し込みを締め切りました】

XPS （X線光電子分光分析装置）は表面上の局所的な分析が可能であり、最表面における化学状態の分析、異物の同定、超薄膜コーティングの厚さ評価などに活用されています。最近は、ステージスキャン、パラレルイメージング、走査X線の各手法により試料表面の二次元情報を取得することができる装置が主流となっています。

本実習では、走査型XPS装置用いることにより、X線励起二次電子像の取得、線分析、マッピング分析について学びます。さらに、二次電子像による正確な分析位置の設定や多点同時分析、平均分析についても説明します。

二次元情報取得には、EPMA、SEM－EDSが広く用いられますが、化学状態の解析は困難なため、XPSのマッピング技術をマスターすることにより、有益な情報取得に繋がり、より多角的な研究支援に結びつくと期待できます。

実習の他、パラレルイメージング（同時取得）で得られる像とも比較し、参加者間で情報交換に繋げることも期待します。

【日 時】　2019年7月26日（金）13時30分～17時30分

【場 所】 東北大学未来科学技術共同研究センター 未来産業技術共同研究館304号室

　　　　　　（〒980-8579宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10）

【定 員】 4名

優先①大学連携研究設備ネットワークにXPSが登録されている方

　　②現在XPSを管理担当されている方

【対 象】 XPSを管理担当する大学の技術職員、技術支援員、技術補佐員等、その他

　　　　　　レベル：中級（スペクトル測定ができる方を対象）

【機　器】　走査型X線光電子分光分析装置 (XPS)　

アルバック・ファイ製　Quantum 2000

【講 師】　東北大学工学部・工学研究科　技術職員　丹野 昌利氏

【主　催】 自然科学研究機構　分子科学研究所（大学連携研究設備ネットワーク）

【旅 費】　分子科学研究所支給あり（技術職員、技術支援員、技術補佐員のみ該当）

【申　込】 https://eqnet-study.jp/xps.html

【申込締切】2019年7月5日（金）

【プログラム】

7月26日（金）　東北大学集合

13：30　　　　　　自己紹介※5分ずつ、現在の業務紹介とXPSでの困っている点や、取り扱っている材料についての紹介

14：00－14：30　　走査型XPS装置とマッピング分析の概略の説明

14：30－16：00　　Cuメッシュ試料を用いた二次電子像観察、分析位置決め、スペクトル分析、マッピング分析の実習

16：00－17：00　 データ解析、情報交換（パラレルイメージングも含む）、

17：00－17：30　　装置見学等（希望者）

セミナーに関する質問は、以下までお願い致します。

大学連携研究設備ネットワーク事務局

〒444-8585

愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38

自然科学研究機構　分子科学研究所

機器センター（担当：大原）

TEL：0564-55-7431

FAX：0564-55-7448

e-mail ： eqnet-office@ims.ac.jp