| 開催日時 | 2019.1.22 |
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| 開催場所 | 北陸先端科学技術大学院大学 |
| 定員 | 3 |
集束イオンビーム加工観察装置（Focused Ion Beam：FIB）は、集束したガリウムイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面を加工したり、発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察することができます。加工位置が特定できることにより、装置内で加工し、断面観察することも可能であり、また、特定した場所を薄片化し、透過型電子顕微鏡（TEM）試料の作製にも広く使用されます。
透過型電子顕微鏡（TEM）は大学連携研究設備ネットワークにも数多く登録されており、試料作製部分を担当者・関係者が技術習得する事で共用利用の促進につながると期待されます。
本セミナーではFIBを用いたTEM試料作製として、平面試料作製の実習を行います。FIB担当者は、日頃断面試料を作製しても、平面試料作製の経験はなく、どのような試料に応用できるか知らない場合があります。一例として、半導体不良解析において、平面観察と同時に断面観察が必要となり、同一箇所からの平面および断面試料を摘出し、観察することにより、不良解析が可能となります。こういった試料作製法を習得することにより、TEMの利用促進にもつながると期待できます。
| 日 時 | 2019年1月22日（火）13時00分～16時30分 | |
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| 場 所 | 北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター （〒923-1292 石川県能美市旭台1-1） |
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| 定 員 | 3名 優先①大学連携研究設備ネットワークにFIBが登録されている方 ②現在FIBを担当されている方 |
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| 対 象 | FIBを担当する大学の技術職員、技術支援員、技術補佐員等、その他 レベル：中級 これまでにFIBを操作したことがある方を対象 |
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| 講 師 | 北陸先端科学技術大学院大学 伊藤真弓 ナノテクノロジープラットフォーム研究員 北陸先端科学技術大学院大学 東嶺孝一 技術専門員（兼）センター長補佐 |
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| 主 催 | 自然科学研究機構 分子科学研究所（大学連携研究設備ネットワーク） ナノテクノロジープラットフォーム 分子・物質合成プラットフォーム 北陸先端科学技術大学院大学 |
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| 旅 費 | 分子科学研究所支給あり（技術職員、技術支援員、技術補佐員のみ該当） | |
| 申 込 | https://eqnet-study.jp/form/fib_2.html | |
| 申込締切 | 2018年12月17日（月） | |
【プログラム】
| 1月22日（火） 北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルセンター集合 | |
| 13：00 | ナノテクノロジープラットフォームの説明と大学連携研究設備ネットワークの紹、自己紹介 ※5分ずつ、現在の業務紹介とFIBでの困っている点や取り扱っている材料についての紹介 |
| 13:30－16:20 | 実践練習（シリコン基板を用いた練習・持ち込み試料も時間があれば練習可）、（質疑応答・休憩は適宜） |
| 16:20－16:30 | まとめと意見交換 |
セミナーに関する質問は、以下までお願い致します。
大学連携研究設備ネットワーク事務局 〒444-8585 愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38 自然科学研究機構 分子科学研究所 機器センター（担当：大原） TEL: 0564-55-7431 FAX: 0564-55-7448 Email: eqnet-office@ims.ac.jp
