集束イオンビーム加工観察装置(FIB)を用いた試料作製セミナー

開催日時 2018.10.31 2018.11.1
開催場所 富山市新産業支援センター、富山大学
定員 7

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)を用いた試料作製セミナー
~ 試料の種類に適した加工を学ぶ! ~

 集束イオンビーム加工観察装置(Focused Ion Beam:FIB)は、集束したガリウムイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面を加工したり、発生した二次電子などを検出して顕微鏡像を観察することができます。加工位置が特定できることにより、装置内で加工し、断面観察することも可能であり、また、特定した場所を薄片化し、透過電子顕微鏡(TEM)試料の作製にも広く使用されます。

 透過型電子顕微鏡(TEM)は大学連携研究設備ネットワークにも数多く登録されており、試料作製部分を担当者・関係者が技術習得する事で共用利用の促進につながると期待されます。

 本セミナーではFIBを用いたTEM試料作製として、複合物から柔らかいものまで種類に合わせたテクニック・ノウハウを学びます。また、二日目には、TEM試料作製においてFIBと同様多方面で活躍のウルトラミクロトームでの試料作製の講義を聞くことにより、双方の長所短所、向き不向きの情報を取得し、今後の試料作製に応用の目を拡げます。

【日  時】 2018年10月31日(水) 13:30 ~ 17:00

       2018年11月 1日(木) 9:20 ~ 12:00

【場  所】 富山市新産業支援センター1階 機器分析室(10月31日)
       富山大学工学部管理棟2階 大会議室(11月1日)

【定  員】 7名(先着順)

【対  象】 FIBを担当する大学の技術職員、技術支援員、技術補佐員等、その他
       未経験の方で、今後、利用を考えている方(初級~中級)

【主  催】 自然科学研究機構 分子科学研究所(大学連携研究設備ネットワーク)

       富山大学研究推進機構研究推進総合支援センター自然科学研究支援ユニット機器分析施設 (共同開催)

【旅  費】 分子科学研究所支給あり(技術職員、技術支援員、技術補佐員のみ該当)

【申  込】 https://eqnet-study.jp/form/fib.html

【申込締切】 2018年10月17日(火)

【プログラム】

10月31日(水) 富山市新産業支援センター

13:00 受付開始(4階研修室)
13:30~14:00 大学連携研究設備ネットワーク事業の紹介、プログラムの紹介
14:00~17:00

装置紹介、デモ加工・観察(1階機器分析室)

日立ハイテクノロジーズ株式会社科学システム製品本部アプリケーション開発部 伊藤 勝治氏による装置(FB-2100)の紹介およびマイクロサンプリングにより、以下の難易度の高い複合物の断面のTEM試料作製を紹介いただきます。

 試料① ナノオーダー粒子が20相に重なったSiO2
 試料② 密着性が悪い多層メッキされたシリコンウェハー
 試料③ ポリマー

17:00~ 施設見学(希望者対象)

11月1日(木) 富山大学工学部管理棟2階 大会議室

9:00 受付開始
9:20~10:20

講演「FIBの原理と最新アプリケーションのご紹介」

講師:日立ハイテクノロジーズ株式会社 科学システム製品本部
   アプリケーション開発部  伊藤 勝治 氏

概要:
透過電子顕微鏡の試料作製に用いられる集束イオンビーム加工観察装置(FIB)の原理と自動加工、3D解析等の最新アプリケーションについてご紹介いただきます。

10:30~12:00

講演「ウルトラミクロトームを用いた高分子加工の応用例」

講師:ライカマイクロシステムズ株式会社テクノロジー事業部
   シニアアプリケーションスペシャリスト 伊藤 喜子 氏

概要:
ウルトラミクロトームは、「切る」だけの単純加工装置ゆえ、TEM以外にも光学顕微鏡、SEM・STEM、その他表面分析装置等々、様々な分析装置へ幅広く利用されています。
特に、生物から高分子材料まで、柔らかい材料に好相性です。
ここでは、高分子材料を中心にウルトラミクロトームを用いた超薄切片作製法を常温法・凍結法ともに、応用例を示しながらご紹介いただきます。

12:00 終了予定

【11月1日のみの参加も可能とさせていただきます。】

セミナーに関する質問は、以下までお願い致します。

大学連携研究設備ネットワーク事務局
〒444-8585
愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38
自然科学研究機構 分子科学研究所
機器センター(担当:東、大原)
TEL:0564-55-7431
FAX:0564-55-7448
e-mail : eqnet-office@ims.ac.jp

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