薄膜X線回折講習会

【目的】　物質の結晶相同定や結晶構造解析に不可欠な手法であるX線回折実験。バルク表面の反応層（酸化膜層やメッキ層）や半導体材料などの基板上成膜されたエピタキシャル層などの薄膜を対象とした測定方法は薄膜X線回折法と呼ばれる。特に表面敏感な測定が可能なIn-plane XRD、エピタキシャル層の分析が可能な逆格子マッピング法、結晶/非結晶を問わずに膜厚分析ができるX線反射率法、結晶方位解析が可能な極点図測定法について測定事例を紹介しながら解説する。【初級～中級】

【開催日時】 2024年1月25日(木)　15時～16時30分

【場所】 WEB ミーティング(ZOOM)

【講師】 丹野健徳　東北大学

【参加対象者】　薄膜X線回折装置使用者および、今後使用する予定のある方。

本講習会に参加される方は、事前に下記サイトから過去のセミナーを受講することをお勧めします。

2021年11月5日開催　【初歩】分析装置初歩セミナー　XRD基礎

https://www.youtube.com/watch?v=7l2XygYejkU&list=PLFeFFDIymHoMwVjLMBbVDtv9mQ3pRU78k&index=31 

2021年11月5日開催　【初歩】分析装置初歩セミナー　XRD薄膜測定基礎

https://www.youtube.com/watch?v=qo9jBYNeih0&list=PLFeFFDIymHoMwVjLMBbVDtv9mQ3pRU78k&t=3s

【人数】　制限なし

【主催】 マテリアル先端リサーチインフラ

【共催】　大学連携研究設備ネットワーク

【申し込み】　https://forms.gle/uGxhSUBuCu8h1CrX6

【プログラム】

15:00〜16:10

1.Ｘ線回折の原理

2.薄膜X線回折の装置について

3.薄膜X線回折の分類

4.薄膜X線回折の測定方法

5.測定例の紹介（In-plane XRD, RSM, XRR, Pole Figure）

16:10〜16:30

Q&A