EBSD技術講習会

【目的】
材料の研究・開発において、金属、セラミックス、半導体などの結晶性材料が持つ結晶方位、粒径、相分布といったミクロ組織情報は、製品の強度、耐久性などの性能指標に直結する。これらの詳細な微細構造解析にEBSD（電子線後方散乱回折）は不可欠である。本講習会では、実機を用いたデータ収集のノウハウから、方位マップの取得やひずみ解析まで、実践的な操作を一連の流れで習得し、現場での分析技術向上を目指す。

【開催日時】2026年2月10日（火）10：00～17：00

【場所】香川大学　6号館（総合研究棟）1F分析室1
〒761-0396　香川県高松市林町2217-20

【講師】森田 博文 氏（オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社　イメージングアンドアナリシス事業本部　アプリケーショングループ）

【参加対象者】大学・研究機関・公的機関に所属する技術系スタッフ（パート、派遣等含む）

【参加者条件】
EBSDを使用したことがある方・利用予定の方が対象です。

【定員】4名（旅費補助有）
※定員に達した時点で申し込みは予告なく終了します。

【申し込み】締め切りました。

【主催】大学連携研究設備ネットワーク

【問い合わせ先】
・申し込みに関する問い合わせ
分子科学研究所　機器センター　大学連携研究設備ネットワーク事務局
E-mail：eqnet-office@ims.ac.jp

・講義内容に関する問い合わせ
香川大学　林町地区統合事務センター学務課技術係　西岡彩美
E-mail：nishioka.ayami@kagawa-u.ac.jp

【講習機器】
・FE-SEM：JEOL JSM-7001F
https://www.jeol.co.jp/products/scientific/sem/JSM-7001F.html
・EBSD：Oxford Instruments Channel5

【測定試料】
Siおよび金属または酸化物試料（六方晶）

【プログラム】
10：00～11：00　試料設定とジオメトリ、方位の定義の説明
－Siによるキャリブレーションデータの作成
11：00～12：00　Siおよび金属または酸化物試料（六方晶）を使用した収集条件の設定とデータ収集
11：00～12：00　昼休憩
13：00～15：00　収集データおよびデモデータを用いた基本的なEBSD結果の出力
－Band Contrast、IPFマップ、極点図、逆極点図、ODFの作成
15：00～16：00　ひずみ解析を中心とした出力
－Misorientation（KAM）、GOS、GMO、GRODを中心に塑性変形の角度差マップの作成
16：00～17：00　追加分析およびQ&A