SEMセミナー～高性能SEM(SU6600)のメリットを実感する～

当所のSEM(SU6600)は操作が簡単で、チャージアップ低減などの性能が優れている優秀な機器です。しかし、どれくらい高性能なの？と聞かれても言葉で伝えることは難しいです。そこで高性能SEMを「実感する」ということで、普段皆さんが観察しにくいと思う試料を当所のSEMで観察してみてはいかがでしょうか？低真空モード対応SEMの為、高真空で脱ガスのある試料や絶縁物を導電処理なしで観察可能となっています。

また、当機器にはEDX検出器として検出面積60㎜²の高感度検出器「XFlash5060 FlatQUAD」を搭載している為、含有元素の定性分析や元素マッピングが短時間で分析可能です。

[使用機器SU6600(日立ハイテクノロジーズ)]

二次電子像分解能　1.2nm　(30kV 高真空モード(＜10∸3))

　　　　　　　　　3.0nm　(30kV 低真空モード(60pa))　

反射電子像分解能　3.5nm　(30kV、低真空：10Pa)

倍率　　　　　　　×10～×600,000

プローブ電流　　　1pA～200nA

【日 時】　2019年8月29日（木）9時30分～12時00分

【場 所】 自然科学研究機構　分子科学研究所　機器センター

（〒444-8585　愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38）

【対 象】 SEMを管理担当する大学の技術職員、技術支援員、技術補佐員等、その他

　　　　　　レベル：中級（自分で観察条件などを立案できる、チャージアップ対策が可能など）

【定 員】 5名

優先①大学連携研究設備ネットワークにSEMが登録されている方

　　②現在SEMを管理担当されている方

　　③日立SEM or低真空SEM　担当者

　　④担当年数5年以上　

【主　催】 自然科学研究機構　分子科学研究所（大学連携研究設備ネットワーク）

【旅 費】　分子科学研究所支給なし

【申　込】 https://eqnet-study.jp/012345.html

【申込締切】2019年6月28日（金）

【プログラム】※事前にご自身でチャージアップしやすい試料や高真空での観察が難しい試料を観察して頂き、当日に当所SEMにて観察を比べてみるといった内容になります。

8月29日（木）　9：30　分子研集合

9:30～　　　　 自己紹介

9:35～　　　　 事前観察に対する質疑・応答

9:50～　　　　 持ち寄ったサンプルの観察

11:45～　　　　まとめ(意見交換や議論など)

セミナーに関する質問は、以下までお願い致します。

大学連携研究設備ネットワーク事務局

〒444-8585

愛知県岡崎市明大寺町字西郷中38

自然科学研究機構　分子科学研究所

機器センター（担当：大原）

TEL：0564-55-7431

FAX：0564-55-7448

e-mail ： eqnet-office@ims.ac.jp